搬送中の除電

見落とされる帯電箇所の除電で、作業精度を維持できます。

ウエハ・フープの除電

表裏での帯電ムラを防ぎます。

保護付きフィルムの除電

保護層の影響による帯電ムラを防ぎます。

紙・パルプの除電

効果的なイオン照射の難しさを解消します。

エアシャワー内の除電

帯電している衣服に付着した異物を落とします。