高周波型とは
電圧印加式の中でも最新の方式で、商用周波数より遥かに高い周波数(約70kHz)で、高電圧を放電針に印加し、コロナ放電を発生させることによって+、-のイオンをバランスよく多量に発生させることができ、高い除電効果を発揮します。特にチューブによるイオンの移送を利用した除電に利用すると他の方式(商用周波数交流型や直流型)ではなしえないスポット除電が可能で、しかも半導体素子などに放電針から発生する電界を近づけることによるダメージを避けることも出来ます。
商用周波数交流型は、巻き線トランスを利用しているため重く大きくなっています。それに対して高周波型は基板上に素子が組み込まれているため超小型軽量タイプとなっており、半導体関係の装置の狭いすき間などに組み込むなどの用途がひろがってきています。
| 商用周波型 | 高周波型 | ||
|---|---|---|---|
| 放電周波数 | 50/60Hz | 20~80kHz | |
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| 印加電圧 | 5~8kV | 2~4kV 連続印加 |
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| 電荷発生 | 1個の放電針から正負電荷を交互に発生 | ||
| 形状 | 中型、重い | 小型、軽量 | |
| 高圧配線 | 必要 | 電源内蔵、不要 | |
| 除電性能 | 遠距離 | 良 | |
| 印加電圧 | 近距離 | 優 | |
| 印加電圧 | 高速対応 | 不可(複数本使用により可) | 良 |
| 管等による電荷搬送 | 不可 | 優 | |
| 帯電物体間距離 | 近接不可 | 近接可 | |
| 電荷平衡度合 | 良 (高周波型は、周波数が高いため時間に対する変動が少ない) |
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