静電気対策
イオナイザによる対策の状況を列挙すると、次のようになる。
静電気障災害とイオナイザによる対策（半導体編）
微粒子やダストによる表面汚染の低減
高集積度の半導体デバイスは、ウエハ－上に超微細加工処理が行なわれている。ウエハ－処理工程では、耐熱性、耐薬品性、非発塵性の要求により、テフロンや石英などの絶縁物の治具が数多く使用されている。ウエハ－とこれらの材料は摩擦帯電により、容易に高い電位が発生する。この静電気による電界の影響により、微粒子がウエハ－やフォトマスクなどの表面に吸着し、欠陥や不良の発生原因となる。
| ※ | イオナイザの適用により、発生する帯電電位を抑制し、速やかに減衰させることで、これらの障害が低減できる。 |
| ※ | 適用製品 この用途では、HDC-AC方式のBF-MAやBF-2MAなどが適している。微少な部品や奥まった場所にあるワークを除電する場合にはZappIIが適している。エアーでの除塵を兼用するならBUAのようなエアー式除電器が適している。 |
製品のハンドリング向上
静電気の電界の影響により、帯電した軽量な部品や薄いフィルムなどの吸着が起き、また、反発により位置ずれやまとわりつきが起き、ハンドリング効率の低下が起きる可能性がある。
| ※ | イオナイザの適用は、これらの帯電した部品や材料、工具などの電位を下げ、電界の影響を低減する。 |
| ※ | 適用製品 この用途では、商用周波数型のバー型やHDC-AC方式のBF-4MAなどが適している。フイルムの幅が大きい場合はバー型電極も取り付け可能な場合もある。また、大型の送風型BF-80や、BF-120、BF-160も適している場合がある。微少な部品や奥まった場所にあるワークを除電する場合にはZappIIが適している。 |
静電気障災害とイオナイザによる対策（印刷業界他の一般工業関連編）
印刷や塗装時の火災発火の防止
静電気の影響により、印刷塗料に発火する場合がある。
| ※ | イオナイザの適用は、これらの帯電したワークやフイルムなどの電位を下げ、発火の危険性を下げることができる。 |
| ※ | 適用製品 この用途では、商用周波数型のバー型のなどが適している。ただし、防爆環境で使用する場合は防爆検定品以外は使用できない。 |
容器の内部の静電気による異物の付着
静電気の影響により、容器内に異物が付着することがある。
| ※ | イオナイザの適用は、これらの帯電した容器内部の電位を下げ、異物付着の危険性を下げることができる。 |
| ※ | 適用製品 この用途では、ノズルを容器内に差し込むことのできる高周波型のZappII、商用周波数型のDKタイプなどが適している。特にZappIIは通常エア用ノズルオプションから窒素ガス用ノズルオプションまで豊富にそろっており、各種の容器に対応が可能である。 |
作業者の不快感防止、作業効率の向上
帯電物体への接近による不快感、帯電物体または作業者自身からのESDによる電撃に対する不快感などで作業効率が低下する。人体には着衣との摩擦、靴と床との摩擦等により静電気が発生する。また、歩行動作による静電容量の変化で急速に電位が上昇する。
| ※ | 人体の帯電を防止することを目的としてイオナイザは使用しない。すなわちリストストラップや導電靴等の接地具の着用が義務付けられている場合に、これらの接地具の代用にイオナイザを用いることはできない。着衣との摩擦、靴と床との摩擦等による人体の帯電は急激であり、また、歩行動作時の静電容量の変化による電位上昇も急速である。この急激な電位変化に対して、イオナイザの発生するイオンでの除電は即応できないためである。しかし、作業者の周辺にある帯電物体の除電にはイオナイザが有効である。帯電物体の電位を減衰させ、電位を低く抑えることにより、作業者が帯電した物体に触れたときに発生する電撃や不快感を低減し、作業効率の向上を図ることはできる。 |
イオナイザの選定方法
イオナイザの選定方法は
- 設置スペース
- 対象物の移動スピード
- 対象物の大きさ
- 対象物に発生する静電気量
- イオナイザに必要なイオンバランス
- 風の影響や圧縮空気の使用の可否
- 周りにイオナイザによる影響を受ける電子機器がないか？
以上を検討して設置すべきでる。2.に記載されている選定方法はあくまで概略であり除電の必要な場所の環境などはまちまちで、専門家によるアドバイスは必須である。